光学测试
a.波前畸变测量
设备名称:数字式波面干涉仪
测试波长范围:633nm和1064nm
测试尺寸范围:Φ3mm~10mm×20mm~150mm@1064nm;
Φ3~100mm×250mm@633nm
测量精度:λ/12@1064nm;
λ/20@633nm
应用范围:测量能够透过1064nm光和633nm光的晶体波前畸变,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
b.消光比测量:
设备名称:消光比测试系统
测试波长范围:633nm和1064nm
测试尺寸范围:Φ3mm~10mm×250mm
测量误差:≤±5%
应用范围:测量能够透过1064nm光和633nm光的晶体的消光比,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
c.角度测量:
设备名称:高精度测角仪
测试范围:直径≥Φ3mm
测量精度: ≤0.3"
应用范围:测量具有一定反光率的平面固体的几何角度,例如:晶体棱镜,金属多面体等。
d.面型测量:
设备名称: ZYGO平面干涉仪
测试范围:Φ3mm~100mm
测量精度:≤λ/20@633nm
应用范围:晶体样品的表面加工面型的精确测量。
e.应力测量:
设备名称:DIAS-1600数字式应力仪
测试范围:Φ5mm~60mm
测量精度:±6nm
应用范围:测量样品的微量应力大小及应力分布。
f.光谱测量:
设备名称:LAMBDA950分光光度计
测量范围:
波长范围:185nm~3300nm,
尺寸范围:Φ3mm~20mm×40mm@透过率
Φ5mm~20mm×90mm@反射率
测量精度:±0.1nm
应用范围:样品0-60度透过率的测量,样品6-68度反射率的测量,样品漫反射测量,偏振光p和s光的透过和反射测量。
g.激光损伤阈值测试
设备名称:抗光损伤阈值测试系统
测量范围:
波长:1064nm,
脉宽:10ns,
功率密度:600MW/cm2 ~ 2000 MW/cm2
功率波动:≤±5%
应用范围:膜层抗光损伤阈值的测量,晶体材料抗光损伤的测量。
h.单程损耗测试
设备名称:单程损耗测试系统
测量范围:
波长范围:1064nm
尺寸范围:Φ4mm~20mm×250mm
测量误差:≤±10%
应用范围:测量晶体材料在1064nm波长激光单次通过后造成的光能量损耗。